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wēi jī diàn xì tǒng
〈機〉微小電気機械システム．マイクロエレクトロメカニカルシステム．メムス
〈英語〉Micro Electro Mechanical Systems；MEMS
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関連データが見つかったので表示します。
〈繁〉マイクロマシン（MEMS）
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