guāng kè jī

1. ステッパー（ステッパ）．縮小投影型露光装置

   〈備考〉半導体素子製造装置の一つ（ステッパー - Wikipedia より）

2. リソグラフィ装置．

   〈備考〉半導体の露光装置(ろこうそうち)

   〈英語〉lithography

   〈参考〉百度百科の光刻机 / Wikipediaのフォトリソグラフィ